溫濕度調節(jié)裝置在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。

半導體用溫控裝置產品廣泛應用于國內外科學研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導體、醫(yī)療技術等行業(yè)。

半導體溫控裝置溫度控制裝置 可從高溫300℃直接制冷降溫,低溫可達-150℃,控溫精度0.5℃智能型控溫,性能穩(wěn)定,應用于石化,醫(yī)藥,生化,凍干,軍工等高科技行業(yè)……